线体式MEMS传感器测试校准设备
用于温度传感器、湿度传感器和传感器的校准和测试;设备内置智能数据分析模块,可对测试数据进行自动处理、分析,生成测试报告。采用最新的半导体控温技术和双重算法,实现多点快速控温、斜率控温等多种控温逻辑;温度、压力可独立无极调节。
产品特性
Characteristics
  • 控温范围
    -40~125℃(精度±0.5℃);
    11
  • 压力范围
    1.5bar
    22
  • 支持拓展
    测试段支持拓展;
    33
  • 最高支持
    最高可支持768sites并测;
    44
  • 上料方式
    支持Wafer ring,carrier,Jedec Tray, 编带;
    55
  • 下料方式
    支持carrier,Jedec Tray, 编带;
    66
  • 选配支持
    支持选配AOI
    77