采用多模块化解决方案，多工位快速组装；

快速切换：2小时内切换新的DUT配置，30分钟内切换历史DUT配置；

高UPH：类似于SMT流动载具，在整个面板上进行多件测试；

高兼容性：最大被测物尺寸：200*250mm，最大载板尺寸300*250mm；

不同DUT的自动视觉切换，包括视觉定位、缺失零件/损坏检测、残留材料检测。

采用双工作台布局，重复定位精度2.5um的高精度高刚性结构；

可实现高速检查：①支持开路检测、短路检测、四线检测、LEAK检测、火花检测；②可扩展电容、电感测量；

可内嵌IC FUNCTION测量；具有多功能存料区，分别是上料区、PAPER、PASS、FAIL、PART FAIL；支持MES系统。

该设备用于温度、湿度传感器的校准和测试；

湿度校准精度±2%RH，UPH>6000pcs/H;

采用两腔体Ping-pong操作，设备共256sites，温度、湿度精度较高
并可快速切换，满足客户高效率要求；

模块标准化设计，灵活适配。

自动晶圆对准；自动晶圆映射；

通过晶圆机器人装载机集成实现自动晶圆装载；

自动化加载测试参数及测试流程；

针对成品率及错误记录的测试结果与数据收集。